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半导体等离子喷涂粉 氧化钇 氟氧化钇 氟化钇Y2O3 Y5O4F7 YF3
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- 产品参数 产品等级:工业级 含量≥:1 型号:YOF 状态:液体 粒度:可选 执行质量标准:JIS 品牌: 厂家(产地) 产品特点 作为半导体制造设备内部的保护性涂层,半导体干蚀设备内部暴于高反应性卤素或氧系电浆。
若非耐电浆材料元件(如,石英玻璃、氧化铝和阳**化的铝)以原本状态使用,则会发生表面腐蚀而伴随着生成粒子,其造成半导体上之微观电路的缺陷。
因此,于半导体制造设备之待外露的表面提供用以赋予抵御电浆的耐蚀性和保护设备之元件的保护性涂层。
此保护性涂层之一是对于种类繁多的电浆展现耐蚀性的氟氧化钇。
想了解更多产品信息,烦请通过电话与我取得联系~ 产品实拍 标签: 氟氧化钇 氟化钇 YOF Y5O4... 刻蚀机 氟氧化钇 氟化钇 YOF Y5O4F7 刻蚀机 涂层 YF3 Y2O3 福州市等离子喷涂 福州市等离子喷涂厂家
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